[14p-414-1~17] 6.6 プローブ顕微鏡

[14p-414-10] 1MHzの固有振動数を有するマイクロ片持ち梁の熱振動制振

〇鐘ヶ江 力¹、辻家 祐介¹、今井 秀和²、河村 良行^1,2 (1.福岡工大院工、2.福岡工大)

キーワード：マイクロ片持ち梁、熱振動、フィードバック制御

現在，微小機械振動子は，様々な精密計測機器に用いられている．しかし，振動子は熱により常に振動しており，この熱雑音が計測限界の一つの要因となる．本研究では，マイケルソン干渉計で，電歪素子(PZT)上に固定した固有振動数約1MHzのマイクロ片持ち梁の熱振動を計測し，信号の位相を90°ずらしてPZTにフィードバックすることで，熱振動の制御を行った．熱振動のパワースペクトル密度のピーク値は，室温において3.5[pm/ ]から0.85[pm/ ]まで制振された．