[14p-414-1~17] 6.6 Probe Microscopy

[14p-414-10] Thermal vibration suppression of a microcantilever having 1MHz natural frequency

〇Riki Kanegae¹, Yusuke Tsujiie¹, Hidekazu Imai², Yoshiyuki Kawamura^1,2 (1.Grad. Sch. of Fukuoka Inst. of Tech., 2.Fukuoka Inst. of Tech.)

Keywords:micro-cantilever, thermal vibration, feedback control

現在，微小機械振動子は，様々な精密計測機器に用いられている．しかし，振動子は熱により常に振動しており，この熱雑音が計測限界の一つの要因となる．本研究では，マイケルソン干渉計で，電歪素子(PZT)上に固定した固有振動数約1MHzのマイクロ片持ち梁の熱振動を計測し，信号の位相を90°ずらしてPZTにフィードバックすることで，熱振動の制御を行った．熱振動のパワースペクトル密度のピーク値は，室温において3.5[pm/ ]から0.85[pm/ ]まで制振された．