[14p-423-1~14] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

△ [14p-423-14] 塗布型ZnOを用いた非真空プロセスによる三次元周期構造体の作製

〇(D)荒木 慎司^1,2、石河 泰明¹、王 旭東方¹、上沼 睦典¹、Donghwi Cho³、Seokwoo Jeon³、浦岡 行治¹ (1.奈良先端大、2.学振特別研究員、3.KAIST)

キーワード：酸化亜鉛、三次元、周期構造

位相シフトマスクを利用したレーザープロセスにより感光性樹脂の3Dテンプレートを作製し、それに対して塗布型ZnOを充填することで非真空プロセスによるZnO 3Dナノ周期構造体形成を実証した。EDXによる元素分析では、ZnO前駆体の残留溶媒およびテンプレート由来の炭素検出量がポストベーク後に大幅に減少していることから、テンプレートの除去を確認した。さらに、形成した構造体の元素組成比はZn：O＝58.3：41.7であることを明らかにした。