[14p-423-1~14] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-423-4] 電子線/フォトリソグラフィ両用ポジ型レジストの露光特性評価

岸村 由紀子¹、張 帥¹、〇浅田 裕法¹ (1.山口大)

キーワード：レジスト、電子線/フォト両用レジスト、露光特性