[14p-424-1~16] CS.4 7. Code-sharing Session: Beam Technology and Nanofabrication

[14p-424-13] Fabrication of a Pd covered single atom electron source with PdO₂ reservoir

〇Hirotaka Asai¹, Shigeki Kumagai¹, Hidekazu Murata¹, Eiji Rokuta¹ (1.Meijo Univ.)

Keywords:nano-emitter, field ion microscope, field emission microscope

我々は，高輝度，かつ低速な電子線源として，単原子層の貴金属で被覆されたタングステン(W)ナノピラミッドの構造を持つ単原子電子源を開発している。この単原子電子源の実用化には，W針先端へ適量の貴金属原子を制御して供給する方法を確立することが重要である。今回は，貴金属供給源として，PdO₂粉末を分散させたコロジオン液をW針後方に塗布し，それを利用した。十分な再現を追認する前段階の実験において，ナノピラミッドの形成を確認できた。