[14p-424-1~16] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-424-13] PdO₂を貴金属供給源に持つPd被覆単原子電子源の作製

〇浅井 泰尊¹、熊谷 成輝¹、村田 英一¹、六田 英治¹ (1.名城大理工)

キーワード：微小電子源、電界イオン顕微鏡、電界放射顕微鏡

我々は，高輝度，かつ低速な電子線源として，単原子層の貴金属で被覆されたタングステン(W)ナノピラミッドの構造を持つ単原子電子源を開発している。この単原子電子源の実用化には，W針先端へ適量の貴金属原子を制御して供給する方法を確立することが重要である。今回は，貴金属供給源として，PdO₂粉末を分散させたコロジオン液をW針後方に塗布し，それを利用した。十分な再現を追認する前段階の実験において，ナノピラミッドの形成を確認できた。