[14p-424-1~16] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[14p-424-4] 円環・円孔電極を用いた電界型Csコレクタの開発（4）

〇川崎 忠寛^1,2、石田 高史²、吉田 竜視¹、加藤 丈晴¹、児玉 哲司³、富田 正弘⁴、生田 孝⁵ (1.JFCC、2.名大未来研、3.名城大理工、4.真空デバイス、5.大阪電気通信大)

キーワード：収差補正、電界、最適構造

電子顕微鏡等の球面収差を補正するために、電界型の収差補正器の開発を行っている。本講演では、電極の構造として不可欠な支持橋が電界に与える影響を解析し、それを極小化するための構造最適化を行った結果を発表する。