[14p-503-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　～発光再結合の解明と制御～

[14p-503-7] 光音響・発光同時計測による窒化物半導体の内部量子効率の絶対測定

〇山口 敦史¹、中納 隆¹、坂井 繁太¹、蟹谷 裕也²、冨谷 茂隆² (1.金沢工大、2.ソニー)

キーワード：窒化物半導体、内部量子効率、光音響測定

半導体の発光内部量子効率は、発光 (PL)強度の温度依存性から、極低温における内部量子効率を100%と仮定して、求められることが多い。しかし、欠陥の多い窒化物半導体で、この仮定は必ずしも正しいとは限らない。本報告では、窒化物半導体の内部量子効率を室温のみの測定で正しく見積もる方法として、光音響・発光同時計測法を提案する。そして、実際にInGaN量子井戸試料で測定を行った結果について報告する。