[14p-F201-1~14] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[14p-F201-2] データ科学的手法による効率的なマッピングの検討(2)

〇沓掛 健太朗¹、菊地 亮太²、出浦 桃子¹、大野 裕¹、下山 幸治²、米永 一郎¹ (1.東北大金研、2.東北大流体研)

キーワード：マッピング、データ科学、最適化

測定物理量の空間分布を求めるマッピング測定は、理工研究では極めて基礎的な測定である。我々は、効率的なマッピング(より少ない測定点数からより確からしい物理量分布を得る)を目指して、データ科学的手法を検討している。本発表では応答曲面近似とマッピング座標の逐次決定を太陽電池用シリコンのキャリア寿命分布測定に応用した結果を報告する。