[14p-P1-1~25] 8 Plasma Electronics（Poster）

[14p-P1-10] Preparation of Functional Thin Films by Backside Powder Target PLD Method

〇Hiroharu Kawasaki¹, Tamiko Ohshima¹, Yoshihito Yagyu¹, Takeshi Ihara¹, Yoshiaki Suda² (1.Natl. Inst. Tech., Sasebo Col., 2.Natl. Inst. Tech., Ishikawa Col.)

Keywords:Powder target

粉体をそのままターゲットに用いて、マルチエレメント機能性薄膜の作製を行った。その結果、TiO₂の粉体をターゲットとして利用し、Arガス中で5 J/cm²レーザを下部から照射して発生させたプラズマの発光スペクトルを示す。結果から、発光スペクトル自身が非常に弱いことが判った。また、スペクトルはほぼすべてがAr原子の発光であり、アルゴンイオンやTi原子などの発光が確認出来なかった。