[14p-P1-1~25] 8 Plasma Electronics（Poster）

[14p-P1-11] Preparing of functional thin films by plasma process using multi-elements targets

〇(B)Megumi Inamitsu¹, Hiroharu Kawasaki¹, Tamiko Ohshima¹, Yoshihito Yagyu¹, Takeshi Ihara¹ (1.Nat'l Ins. Tech. Sasebo Col.)

Keywords:plasma

4価元素を添加した石英薄膜では、圧電性や焦電性の発現のほか,紫外光照射による可視光のルミネセンスが観測されている。野毛らは、RFマグネトロンスパッタリング法で作製した石英薄膜に熱拡散によって金属をドープし、254nmの紫外光に対する、可視のルミネッセンス光を観測した。本研究では、SiO2とSnの粉体をターゲットとしてスパッタリング成膜を行い上述と同じ性質の薄膜作製を行い、その性質を調べた。