[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-11] 複数元素の粉体ターゲットを用いた発光素子薄膜の作製I

〇(B)稲光 萌¹、川崎 仁晴¹、大島 多美子¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹ (1.佐世保高専)

キーワード：プラズマ

4価元素を添加した石英薄膜では、圧電性や焦電性の発現のほか,紫外光照射による可視光のルミネセンスが観測されている。野毛らは、RFマグネトロンスパッタリング法で作製した石英薄膜に熱拡散によって金属をドープし、254nmの紫外光に対する、可視のルミネッセンス光を観測した。本研究では、SiO2とSnの粉体をターゲットとしてスパッタリング成膜を行い上述と同じ性質の薄膜作製を行い、その性質を調べた。