[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-12] 誘導結合型プラズマ支援RFスパッタリングによる非晶質Si薄膜の作製

〇(M1)沈 同柱¹、石井 優輝¹、金子 哲也¹、桑畑 周司¹、沖村 邦雄¹、進藤 春雄²、磯村 雅夫¹ (1.東海大院工、2.プラズマ理工学研)

キーワード：水素化アモルファスシリコン、誘導結合プラズマ