[14p-P1-1~25] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P1-17] 準大気圧マイクロ波励起窒素系ラジカル源を用いた窒化法に関する研究

〇板垣 宏知¹、廣瀬 伸吾²、金 載浩¹、王 学論³、熊谷 直人³、小木曽 久人²、榊田 創^1,3 (1.産総研電子光・先進プラズマプロセスグループ、2.産総研製造技術・積層加工システム研究グループ、3.産総研GaN-OIL・光デバイスチーム)

キーワード：プラズマ、ラジカル、窒化処理