[14p-P3-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P3-17] 積層メタル技術による3軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法

〇佐布 晃昭¹、小西 敏文¹、山根 大輔^2,4、年吉 洋^3,4、曽根 正人^2,4、益 一哉^2,4、町田 克之^1,2,4 (1.NTT-AT、2.東京工業大学、3.東京大学、4.JST-CREST)

キーワード：MEMS、加速度センサ

我々は、MEMS（Microelectromechanical Systems）技術を用いた加速度センサの高分解能化について研究開発を行っている。今回、積層メタル技術により作製された３軸MEMS加速度センサのばね定数設計方法を提案する。積層メタル構造を持つ折り返しばねは、高密度な錘を支えることが可能であり、かつ3軸ばねの可動機能を実現することが可能である。また、提案する積層ばね構造は、3軸すべてのばね定数を任意に設計することが可能である。作製した素子の評価結果は、設計値と一致することを確認したので報告する。