[14p-P3-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P3-3] LSIカーボンナノ配線への浮遊触媒法を用いた超臨界流体技術

〇西川 慶¹、宇原 祥夫¹、伊藤 勝利¹、斉藤 茂¹ (1.東理大工)

キーワード：超臨界流体、カーボンナノ材料、LSI配線