[14p-P3-1~19] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P3-5] 超臨界エタノールを用いたLSI配線のためのCNM作製

〇前田 世蓮¹、梅田 麟之介¹、玉根 匠¹、古市 知己¹、宇原 祥夫¹、伊藤 勝利¹、斉藤 茂¹ (1.東理大工)

キーワード：超臨界エタノール、カーボンナノ材料、LSI配線