[14p-P4-1~78] 17 ナノカーボン（ポスター）

[14p-P4-26] SiC表面分解によるグラフェン成長のAr流量による制御

〇寺澤 知潮¹、乗松 航²、楠 美智子¹ (1.名大未来研、2.名大工)

キーワード：グラフェン、SiC、ステップ

SiC(0001)面の表面分解においてステップが不安定な場合には二層グラフェンがステップからテラス上に突出したFinger構造が成長することが知られている．本研究ではSiC表面分解の雰囲気におけるAr流量の制御によってFinger構造の形成を抑制できることを示した．当日はAr流量に依存したSiCステップの安定性やグラフェン形成温度の変化についても議論する．