[14p-P4-1~78] 17 Nanocarbon Technology（Poster）

△ [14p-P4-4] Mist CVD formation of oxide support layer for in-situ CNT forest growth

〇Toshiya Kinoshita¹, Motoyuki Karita², Takayuki Nakano², Yoku Inoue², Tetsuharu Miwa³, Hirokazu Nagaoka³ (1.GSST, Shizuoka Univ., 2.Shizuoka Univ., 3.JNC Petrochemical)

Keywords:carbon nanotube, metal oxide support layer, mist CVD

本研究室ではCNTの生産性向上に向けた合成手法の基礎技術として、基板上への触媒粒子形成およびCNT成長を装置内で行うin-situミストCVDプロセスを構築してきた。本発表では、CNTの合成プロセスのさらなる効率化とCNT品質向上に向けて、触媒粒子担持層のミストCVD形成を新たに加えたin-situプロセスを構築したので報告する。