[14p-P4-1~78] 17 ナノカーボン（ポスター）

△ [14p-P4-4] In-situ CNTフォレスト成長に向けた金属酸化物担持層のミストCVD形成

〇木下 聖也¹、苅田 基志²、中野 貴之²、井上 翼²、三輪 鉄春³、長岡 宏一³ (1.静大創造院、2.静大院工、3.JNC石油化学)

キーワード：カーボンナノチューブ、金属酸化物担持層、ミストCVD

本研究室ではCNTの生産性向上に向けた合成手法の基礎技術として、基板上への触媒粒子形成およびCNT成長を装置内で行うin-situミストCVDプロセスを構築してきた。本発表では、CNTの合成プロセスのさらなる効率化とCNT品質向上に向けて、触媒粒子担持層のミストCVD形成を新たに加えたin-situプロセスを構築したので報告する。