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△ [14p-P4-4] In-situ CNTフォレスト成長に向けた金属酸化物担持層のミストCVD形成
キーワード:カーボンナノチューブ、金属酸化物担持層、ミストCVD
本研究室ではCNTの生産性向上に向けた合成手法の基礎技術として、基板上への触媒粒子形成およびCNT成長を装置内で行うin-situミストCVDプロセスを構築してきた。本発表では、CNTの合成プロセスのさらなる効率化とCNT品質向上に向けて、触媒粒子担持層のミストCVD形成を新たに加えたin-situプロセスを構築したので報告する。