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[14p-P4-61] c 面サファイア基板上ReS2薄膜のエピタキシャル成長
キーワード:遷移金属ダイカルコゲナイド、ReS2
レニウム(Re)膜を蒸着したc面サファイア基板を硫黄(S)雰囲気で加熱することでReS2を作製した。X線回折により、[0001]方向に配向したReS2単結晶薄膜が作製されていることが示唆された。Raman分光測定により、ReS2の面内方向(Eg)および積層方向(Ag)の振動を示す輝線がそれぞれ観測された。それらの半値全幅は3cm-1程度と非常に狭く高品質化に成功したことを示唆している。以上より、c 面サファイア基板上へ ReS2 単結晶薄膜のエピタキシャル成長に成功した。