[14p-P7-1~16] 3.11 フォトニック構造・現象

[14p-P7-7] Q値100万を超えるシリコンナノ共振器への液相ポストプロセス付加

〇伊藤 隆浩¹、芦田 紘平¹、植田 眞由^1,2、床波 志保¹、飯田 琢也²、岡野 誠³、山田 浩治³、高橋 和¹ (1.大阪府大院工、2.大阪府大院理、3.産総研)

キーワード：高Q値ナノ共振器