[14p-P9-1~30] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[14p-P9-5] 大気開放型プラズマジェットを用いた二元同時エッチングによる合金ナノ粒子合成の試み

〇清水 禎樹^1,2、伯田 幸也^2,1 (1.産総研ナノ材料、2.産総研オペランド)

キーワード：大気圧プラズマ、ナノ粒子

大気開放型プラズマジェットの放電管内に挿入した異種複数の金属ワイヤーをプラズマで同時にエッチングして合金ナノ粒子を合成する試みにつてい、高温用の鉛フリーはんだ材用合金の一つである金（Au）‐スズ（Sn）合金ナノ粒子合成の実施例を中心に発表する。