[15a-304-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15a-304-4] HexafluoroacetylacetoneによるPtエッチング

〇近藤 英一¹、荻原 佑太¹ (1.山梨大工)

キーワード：Pt、エッチング

Pt電極はMRAMやFeRAMなどの電極材料であるがドライエッチングがむつかしい。特に、最近のMRAMプロセスでは、スパッタ残さや難揮発性副生成物を除去できるクリーニング手法が必要となっている。我々は、超臨界流体中でFe、Co、Cuなどの遷移金属をhexafluoroacetylacetone (Hhfac)と反応させ溶解除去するエッチング手法を開発した。本報ではPtエッチングができたのでそれについて報告する。