[15a-304-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15a-304-7] マイクロトラップアレイによるシリコン微細チップの配列

岡田 義之¹、〇岡田 卓也¹、川合 健太郎¹、有馬 健太¹、森田 瑞穂¹ (1.阪大院工)

キーワード：MEMS、マイクロ流路