[15a-318-1~11] CS.4 7. コードシェアセッション：ビーム応用大分類

[15a-318-10] ボロンK発光分光計測のためのランタン(La)系膜付加による高回折効率・広受光角軟X線ラミナー型回折格子の設計

〇小池 雅人¹、ピロジコフ アレキサンダー¹、羽多野 忠²、西原 弘晃³、笹井 浩行³、長野 哲也³ (1.量研機構量子ビーム、2.東北大多元研、3.島津デバイス)

キーワード：軟X線、回折格子、多層膜

超ハイテン鋼などの鉄鋼材料開発、BNCTなどの新医療技術開発などにおいては数ppmレベルでのボロン（B）の正確な計測、さらに他の元素との相互作用の解明も必要とされている。最近著者らはB-K発光分光分析に用いる軟X線回折格子にDLC等の薄膜を金属表面に付加することで回折効率の向上が可能なことを見出した。本報告ではさらにLa系の膜を用いることで回折効率の向上と共に受光光束の増加が得られることを示す。