[15a-411-1~10] 13.9 Optical properties and light-emitting devices

[15a-411-5] Prediction of nanocrystalline-Si size in SiO₂ matrix based on LSW theory

〇(M1)Toshiei Kawamura¹, Hiroshi Katumata¹ (1.Meiji Univ.)

Keywords:Si nanocrystal, sputter, LSW theory

サファイア基板上にスパッタ法により成膜したSi-rich oxcide薄膜を熱処理することでnanocrystalline(nc)-Siを形成し、光学バンドギャップ(E_g)の熱処理条件依存性を評価した。E_gからnc-Siの結晶粒径を算出し、LSW理論式から理論的に導いたnc-Siの結晶粒径と比較した。XPS測定によりSiO₂薄膜中での結合と組成を測定し、SiとOの組成比からLSW理論に用いる定数項を導出した。アニール時間の増大とともにE_gの減少、粒径の増大、PLピークのレッドシフトを観測した。