[15a-412-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-412-6] 微小放電源をイグナイターとしたダイヤモンド核発生処理装置の構築

〇村山 博亮¹、児玉 英之¹、藤居 大毅²、金 聖祐²、曾田 英雄²、鈴木 一博³、澤邊 厚仁¹ (1.青学大理工、2.並木精密宝石株式会社、3.トウプラスエンジニアリング)

キーワード：ダイヤモンド、微小放電源、ダイヤモンド核発生