[15a-419-1~10] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15a-419-3] スパッタ堆積ZnO薄膜の大気暴露による電気的特性の経時変化の評価

〇高橋 直人¹、張 捷生¹、齊藤 正¹、佐藤 伸吾¹、大村 泰久¹ (1.関西大学院)

キーワード：ZnO薄膜、コンダクタンス、大気暴露

non-doped ZnO薄膜を低湿度環境で大気暴露した場合の電気的特性の経時変化がZnO薄膜の信頼性上問題になることから、経時変化の特徴を調べた。RFスパッタ法でZnO薄膜を堆積し、窒素と酸素雰囲気で熱処理を行い、2種類の膜を作製した。約700時間の経時変化の測定の結果、約700時間の範囲では導電性の大きな変化が見られなかった。また、酸素雰囲気で熱処理をしたZnO薄膜のXPSの結果からキャリア濃度もほとんど変化していないという結果が得られた。