[15a-423-1~9] CS.4 7. Code-sharing Session: Beam Technology and Nanofabrication

△ [15a-423-3] Fabrication of ultra-flat gold nanoparticles-coated flexible substrates by thermal nanoimprint technique

〇Risa Goto¹, Kodai Shimada¹, Satoru Kaneko², Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Inst. of Tech, 2.Kanagawa Ind. Tech. Cent.)

Keywords:thermal nanoimprint, gold nanoparticles, ultra-flat substrates

ナノスケールの金微細構造は特異的光学特性を示すことから、電子・光学デバイスへの応用が期待できる。また、可視光透過率、耐熱性の高い透明ポリイミドフィルムは、ガラス代替材料やフレキシブル回路基板として注目されている。本研究では、新たな表面特性を示す機能性ハイブリッド基板の作製を目的として、フレキシブルポリマー材料上に金の新規な微細構造を作製し、形態制御や光学特性などの変化について検討した。