[15a-F201-1~12] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-F201-10] 超高温RTPウェーハの酸素析出におよぼす窒素ドープの効果

〇岡村 秀幸¹、須藤 治生¹、中村 浩三³、前田 進¹、末岡 浩治² (1.グローバルウェーハズ・ジャパン、2.岡山県大 情報工、3.岡山県大 地域共同研究機構)

キーワード：急速昇降温熱処理、酸素析出核、窒素

窒素濃度の異なるウェーハについて、1300℃以上の酸素雰囲気Rapid Thermal Process (RTP) 後の酸素析出物の深さ方向の密度分布を調査した。実験結果から、窒素濃度が高いほど、また冷却速度が大きいほど酸素析出物の密度が表面近くから立ち上がり、酸素析出を促進する事が分かった。シミュレーション結果との比較からRTP中に高濃度に形成される窒素-空孔複合体（VN）が析出に寄与する空孔の実効濃度を増加させて、酸素析出を促進させるものと推定された。