2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

17 ナノカーボン » 17.3 層状物質

[15a-F203-1~8] 17.3 層状物質

2017年3月15日(水) 10:15 〜 12:15 F203 (F203)

根岸 良太(阪大)

11:30 〜 11:45

△ [15a-F203-6] 新規モリブデン原料i-Pr2DADMo(CO)3を用いたMoS2のMOCVD

〇石原 聖也1,5、日比野 祐介1、澤本 直美1、町田 英明3、大下 祥雄4、若林 整2、小椋 厚志1 (1.明治大、2.東工大、3.気相成長(株)、4.豊田工大、5.学振特別研究員)

キーワード：二硫化モリブデン