[15a-F204-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15a-F204-2] 溶液法n型4H-SiCオフ基板の作製と結晶評価

〇楠 一彦¹、関 和明¹、岸田 豊¹、海藤 宏志¹、森口 晃治¹、大黒 寛典²、加渡 幹尚²、土井 雅喜²、旦野 克典²、関 章憲²、白井 嵩幸²、斎藤 広明²、別所 毅² (1.新日鐵住金、2.トヨタ自動車)

キーワード：SiC