[15a-F204-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15a-F204-7] SiCエピリアクタクリーニングのための熱分解炭素被膜耐腐食性調査

塩田 耕平¹、〇羽深 等¹、伊藤 英樹²、三谷 慎一²、高橋 至直³ (1.横国大院工、2.ニューフレアテクノロジー、3.関東電化工業)

キーワード：炭化珪素、化学気相堆積法、リアクタクリーニング

化学気相堆積法により炭化珪素(SiC)エピタキシャルウエハを生産する際のクリーニング方法を開発するため、サセプタ保護膜として熱分解炭素膜のClF₃ガスに対する耐腐食性を調査する。本報告ではClF₃ガスに曝露する時間を延長し、熱分解炭素膜の耐腐食性を維持する方法を調査したので、詳細を報告する。