09:30 〜 11:30
[15a-P11-13] Cat-CVDによる極薄SiNx膜の製膜
キーワード:窒化シリコン、Cat-CVD
TOPCon太陽電池における極薄SiO2パッシベーション膜の代替を目的に、Cat-CVDによる膜厚10 nm未満の極薄SiNx膜の製膜を試みた。圧力を1 Paとし、堆積時間を1 min未満とすることで、膜厚10 nm未満のSiNx膜が得られた。また、堆積時間を30 sとし、H2流量を制御することで、屈折率を制御しつつ、膜厚5 nm前後のSiNx膜が形成できる見通しを得た。