[15a-P4-1~13] 1.5 計測技術・計測標準

[15a-P4-3] 化学気相研磨法を用いた簡便なタングステン探針の製作技術

〇金子 和雅¹、菅 洋志¹、大野 輝昭² (1.千葉工大、2.テクネックス工房)

キーワード：探針

走査型トンネル顕微鏡の探針や、半導体故障解析のプローブなど、ナノオーダーからミクロンオーダーのサイズで加工された金属探針はナノスケール計測で用いられる。そこで、我々は燃焼の化学反応を利用した簡便な微細探針製作法（化学気相研磨法）を提案する。今回、本手法で探針製作を行える金属の種類を探索し、探針先端曲率半径の制御と探針の電気伝導率について調べたので報告する。