[15a-P5-1~9] 6.4 薄膜新材料

[15a-P5-2] 一軸加圧下熱処理によるMoO_X薄膜の結晶相制御と特性評価

〇難波 諒太郎¹、土嶺 信男²、金子 智^3,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.(株)豊島製作所、3.神奈川県産技セ)

キーワード：酸化モリブデン、固相結晶化、熱ナノインプリント

デバイス応用に向けて，MoO_X薄膜の結晶相および結晶性，それらに起因する物性制御が重要となるが，Moイオンの価数や，結晶相制御に関する報告はまだ少ない．本研究では， Moイオンの化学状態や，結晶相による特性の制御を目的とし，エピタキシャルα-MoO₃薄膜と非晶質MoO_X薄膜のナノインプリント装置を活用した一軸加圧下熱処理による，結晶相制御と特性評価を行ったので報告する．