[15a-P5-1~9] 6.4 薄膜新材料

[15a-P5-5] ミスト蒸着法によるAlq₃薄膜の成膜

〇(B)松島 立樹¹、香取 重尊¹、織田 真也²、人羅 俊実² (1.津山工業高等専門学校、2.(株)フロスフィア)

キーワード：薄膜新技術

Alq3は有機ELの発光材料として知られ、近代の有機EL産業界において非常に重要な役割を果たしている。超音波振動子によって材料溶液を霧化させ、不活性ガスにより基板に吹き付けて基板上で堆積させ薄膜を形成するミスト法が存在する。しかし、吹き付ける霧の粒径が大きいものなり、異種材料を堆積させる場合、下地を溶かしてしまう欠点があった。そこで本研究では目視による霧が発生しない新たなミスト法での成膜を検討した。