09:30 〜 11:30 [15a-P5-5] ミスト蒸着法によるAlq3薄膜の成膜 〇(B)松島 立樹1、香取 重尊1、織田 真也2、人羅 俊実2 (1.津山工業高等専門学校、2.(株)フロスフィア)