[15p-301-2~10] エネルギー材料開発に資するプラズマ技術最前線

[15p-301-8] 低摩擦・高耐摩耗DLC膜のプラズマ成膜技術

〇上坂 裕之¹ (1.岐阜大工機械)

キーワード：プラズマ、DLC、低摩擦