[15p-304-1~10] 長期保管メモリのための高信頼配線技術

[15p-304-9] ULSI-Cu配線の信頼性向上に向けた極薄PVD-Co(W)単層バリア/ライナーの特性評価

〇(PC)金 泰雄¹、百瀬 健¹、松尾 明²、清野 拓哉²、霜垣 幸浩¹ (1.東大院工、2.キヤノンアネルバ株式会社)

キーワード：PVD-Co(W)、単層バリア/ライナー、ULSI-Cu配線の信頼性