[15p-311-1~18] 6.4 Thin films and New materials

△ [15p-311-5] Fabrication of V₂O₅-Bi₂O₃-WO₃ glass thin film by pulsed laser deposition and optical and electrical characterization

〇Yuki Fujimoto¹, Shiori Takano¹, Satoru Kaneko², Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech., 2.Kanagawa Ind. Tech. Cent.)

Keywords:glass, Vanadium oxide, thin film

酸化物ガラスは一般に熱伝導率が低く、絶縁体であることが知られている。しかし、酸化バナジウム (V₂O₅) を含むガラスはスモールポーラロンホッピングにより電気伝導性を持つことが知られている。本研究では、酸化バナジウムを含むガラス薄膜を、PLD法を用いて作製し、その薄膜作製条件 (雰囲気、熱処理温度)、組成比による構造の変化および光学・電気特性への影響を評価した。