[15p-311-1~18] 6.4 薄膜新材料

△ [15p-311-5] PLD法によるV₂O₅-Bi₂O₃-WO₃系ガラス薄膜の作製と光学・電気特性評価

〇藤元 勇希¹、高野 詩織¹、金子 智²、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.神奈川産技セ)

キーワード：ガラス、酸化バナジウム、薄膜

酸化物ガラスは一般に熱伝導率が低く、絶縁体であることが知られている。しかし、酸化バナジウム (V₂O₅) を含むガラスはスモールポーラロンホッピングにより電気伝導性を持つことが知られている。本研究では、酸化バナジウムを含むガラス薄膜を、PLD法を用いて作製し、その薄膜作製条件 (雰囲気、熱処理温度)、組成比による構造の変化および光学・電気特性への影響を評価した。