[15p-412-1~18] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-412-13] 大気圧窒素プラズマ法で合成した窒化炭素のFT-IRスぺクトル

〇財部 健一¹、荻野 統行¹、三浦 誠太郎¹、平井 正明¹、安井 望¹ (1.岡山理科大理基礎)

キーワード：窒化炭素半導体

ナノアモルファス層状窒化炭素のFT-IRスペクトルの考察した。スペクトルには倍音吸収と思われる特徴がみられた。