[15p-419-1~8] Recent Progress and Future Perspective on Vacuum Technology for Accelerator and Space Sciences

[15p-419-7] TiN Coating on Beam Pipes for Accelerators

〇Kyo Shibata^1,2, Yusuke Suetsugu^1,2, Takuya Ishibashi^1,2, Mitsuru Shirai¹, Shinji Terui¹, Ken-Ichi Kanazawa^1,2, Hiromi Hisamatsu¹ (1.KEK, 2.SOKENDAI)

Keywords:accelerator, vacuum

電子・陽電子衝突型加速器SuperKEKBの陽電子リングなどでは，ビームダクト内壁から放出される二次電子がビーム軌道付近に形成する「電子雲」によるビームの質の劣化を防ぐため，ビームダクト内壁に窒化チタン（TiN）コーティングが施されている．TiNコーティングには DCマグネトロンスパッタリング法が用いられ，新設された専用施設で2年半の間に約1100本のビームダクトにコーティングが行われた．