[15p-419-1~8] 加速器・宇宙科学における真空技術の現状と展望

[15p-419-7] 加速器用ビームダクトへのTiNコーティング

〇柴田 恭^1,2、末次 祐介^1,2、石橋 拓弥^1,2、白井 満¹、照井 真司¹、金澤 健一^1,2、久松 広美¹ (1.高エネ研、2.総研大)

キーワード：加速器、真空

電子・陽電子衝突型加速器SuperKEKBの陽電子リングなどでは，ビームダクト内壁から放出される二次電子がビーム軌道付近に形成する「電子雲」によるビームの質の劣化を防ぐため，ビームダクト内壁に窒化チタン（TiN）コーティングが施されている．TiNコーティングには DCマグネトロンスパッタリング法が用いられ，新設された専用施設で2年半の間に約1100本のビームダクトにコーティングが行われた．