[15p-503-1~16] 15.4 III-V族窒化物結晶

[15p-503-9] Naフラックス法におけるステップバンチングを活用した転位伝播抑制

〇蔵本 流星¹、今西 正幸¹、本城 正智¹、村上 航介¹、今林 弘毅¹、今出 完¹、吉村 政志¹、森 勇介¹ (1.阪大院工)

キーワード：転位、インクルージョン

本研究では、Naフラックス法を用いた結晶育成において、成長層-種結晶界面で転位を発生させないためにピロりん酸処理を行った際の、成長過程での転位密度挙動を観察した。その結果、ピロりん酸処理を行った結晶において、成長後期に転位密度が減少した。一方、成長後期にインクルージョン含有量が増加していることに着目し、インクルージョン含有領域直上の転位密度を測定したところ、無転位領域が存在していた。