[15p-512-1~9] ナノインプリント技術の進展と展開

[15p-512-8] 液体シリコンのダイレクトインプリンティング

〇増田 貴史¹、下田 達也¹ (1.北陸先端大)

キーワード：インプリント、シリコン、溶液法

半導体Si素子発展の歴史を紐解くと、その出発物質は固体Si（ウェハ）か気体Si（シランやジシラン）が用いられてきた。一方で近年我々は、常温常圧で液体状態を保つ、半導体Siの前駆体物質「液体Si」を合成した。本研究では液体Siの塗膜にnm級のパターン基板を押し当て、非晶質/結晶質Siの微細パターンを直接成型する「液体Siナノインプリント」について報告する。