[15p-E206-1~15] 9.4 熱電変換

[15p-E206-10] バイオテンプレート極限加工を用いたSiナノ構造熱電モジュールの作製と特性評価

〇菊池 亜紀応^1,2,3、八尾 章史³、毛利 勇³、山本 淳⁴、小野 崇人¹、寒川 誠二² (1.東北大学院工、2.東北大流体研、3.セントラル硝子（株）、4.産業技術総合研究所)

キーワード：ナノ構造